Número: 12223026
País: France
Fuente: TED
Fourniture d"un système d"abattement pour équipement PECVD
Le CEA/LETI souhaite faire l’acquisition d’un système intégré de traitement des effluents gazeux et liquides pour 2 équipements de dépôt diélectriques.
Ce système doit être:
— compatible avec les contraintes du site dans lequel il sera implanté (sous-sol),
— communicant avec l’équipement principal qui se trouvera en salle blanche.
En outre, des systèmes de pompage seront nécessaires à son bon fonctionnement.
Ceux-ci devront avoir les mêmes contraintes que le système d’abattement.
Ce système sera installé dans les locaux techniques connexes aux salles blanches microélectroniques du CEA/LETI où il sera utilisé 7 j/7 et 24 h/24.
Livraison impérative pour le 3e trimestre 2018.
Il a été indiqué 1.00 à la rubrique «montant» uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l"avis d"attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de l"équipement sans violer le secret des affaires.